本產(chǎn)品在結(jié)構(gòu)上主要由不銹鋼殼體、燃燒系統(tǒng)、洗滌系統(tǒng)和清渣系統(tǒng)組成。在進氣方面采用壓縮空氣加新風(fēng)進氣口雙進風(fēng)形式，提高產(chǎn)品運行效率和可靠性。在噴淋系統(tǒng)方面，采用循環(huán)水泵與自動補水相結(jié)合的方法，風(fēng)機采用一用一備形式，這些工藝特點使得本產(chǎn)品在安全可靠性方面得到極大保證。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時配備了氮氣入口，更加大了設(shè)備的安全性。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。

本產(chǎn)品采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼原料進行制造，根據(jù)硅烷與空氣接觸而自燃的特點，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過填料層再進入燃燒塔噴淋室，經(jīng)過噴霧處理，使廢氣與中和循環(huán)液接觸反應(yīng)，然后進入脫液器脫液處理后由抽風(fēng)機排入大氣。

控制系統(tǒng)及注意事項：

1. 不銹鋼硅烷燃燒凈化塔必須保證負壓200Pa左右。

2. PECVD設(shè)備真空泵后面必須加裝應(yīng)急燃燒筒。

3. 不銹鋼硅烷燃燒凈化塔必須采用新工藝，雙風(fēng)機抽風(fēng)，一用一備。

4. 風(fēng)機進風(fēng)口的電動調(diào)節(jié)閥必須與風(fēng)機聯(lián)動。

5. 風(fēng)機進風(fēng)口前必須加裝碟閥，以控制硅烷燃燒凈化裝置內(nèi)負壓。

6. 硅烷燃燒凈化裝置新風(fēng)補風(fēng)口必須加裝調(diào)節(jié)閥。

7. 進氣管接口外1～1.5米處必須由可以拆裝的連接口，以防清除燃燒箱雜物而可以拆除。